詳細摘要: 通過橢偏參數(shù)、透射/反射等參數(shù)測量,實現(xiàn)各種單層到多層的各向同性/各向異性薄膜膜厚、光學常數(shù)快速表征
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深圳市邁昂科技有限公司
詳細摘要: 通過橢偏參數(shù)、透射/反射等參數(shù)測量,實現(xiàn)各種單層到多層的各向同性/各向異性薄膜膜厚、光學常數(shù)快速表征
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